热真空试验箱参数范围:
有效空间:
承载:≥50kg
空载极限真空度:
热沉空载温度范围: -70~150C
石英晶体微量天平
石英晶体微量天平参数范围:
QK20A污染沉积面:金Au
名义质量敏感度:亚分子层，探测1ng/cm/Hz的质量变化
数据采集时间周期: 1 秒一60秒
晶片温度测量:土0.1度， 范围-100度~ 100度
测试分辨率: 
测试量程: 
热真空试验箱
热真空试验箱参数范围:
有效空间:
承载:≥50kg
空载极限真空度:
热沉空载温度范围: -70~150C
石英晶体微量天平
石英晶体微量天平参数范围:
QK20A污染沉积面:金Au
名义质量敏感度:亚分子层，探测1ng/cm/Hz的质量变化
数据采集时间周期: 1 秒一60秒
晶片温度测量:土0.1度， 范围-100度~ 100度
测试分辨率:
测试量程:
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